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中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司
地址：河北省邯鄲市肥鄉(xiāng)區(qū)化工工業(yè)聚集區(qū)緯五路1號
電話：0310-7182720
郵箱：pericsg@pericsg.com
電子特氣
中船派瑞特氣公司具備完善的質(zhì)量管理體系、生產(chǎn)過程管控和分析檢測能力，指標(biāo)及包裝種類可滿足客戶定制化需求。
電子特氣廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的加工過程，是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵原材料，被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝中。
|
純氣 |
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|
序號 |
名稱 |
化學(xué)式 |
|
1 |
三氟化氮 |
NF3 |
|
2 |
六氟化鎢 |
WF6 |
|
3 |
一氟甲烷 |
CH3F |
|
4 |
甲烷 |
CH4 |
|
5 |
三氟甲烷 |
CHF3 |
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6 |
一氧化碳 |
CO |
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7 |
六氟乙烷 |
C2F6 |
|
8 |
乙炔 |
C2H2 |
|
9 |
乙烯 |
C2H4 |
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10 |
五氟乙烷 |
C2HF5 |
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11 |
八氟丙烷 |
C3F8 |
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12 |
六氟丙烷 |
C3H2F6 |
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13 |
七氟丙烷 |
C3HF7 |
|
14 |
六氟丁二烯 |
C4F6 |
|
15 |
八氟環(huán)丁烷 |
C4F8 |
|
16 |
氘氣 |
D2 |
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17 |
氟氣 |
F2 |
|
18 |
溴化氫 |
HBr |
|
19 |
氯化氫 |
HCl |
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20 |
氟化氫 |
HF |
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21 |
氘代氨 |
ND3 |
|
22 |
三氯化硼 |
BCl3 |
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23 |
氨氣 |
NH3 |
|
24 |
四氟化硅 |
SiF4 |
|
25 |
二氧化硫 |
SO2 |
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26 |
乙硅烷 |
Si2H6 |
|
27 |
二氟甲烷 |
CH2F2 |
|
28 |
氬氣 |
Ar |
|
29 |
氦氣 |
He |
|
30 |
氪氣 |
Kr |
|
31 |
氖氣 |
Ne |
|
32 |
氮氣 |
N2 |
|
33 |
硅烷 |
SiH4 |
|
34 |
氙氣 |
Xe |
|
混氣
|
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|
序號
|
名稱
|
化學(xué)式
|
|
1
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氬氙氖混合氣
|
(Ar/Xe/Ne)
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2
|
乙硼烷氬氣混合氣
|
(B2H6/Ar)
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3
|
乙硼烷氫氣混合氣
|
(B2H6/H2)
|
|
4
|
乙硼烷氦氣混合氣
|
(B2H6/He)
|
|
5
|
乙硼烷氮氣混合氣
|
(B2H6/N2)
|
|
6
|
甲烷氬氣混合氣
|
(CH4/Ar)
|
|
7
|
六氟乙烷氧氣混合氣
|
(C2F6/O2)
|
|
8
|
乙烯氦氣混合氣
|
(C2H4/He)
|
|
9
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丙烷、一氧化碳、二氧化碳、一氧化氮混合氣氮氣稀釋氣
|
C3H8/CO/CO2/NO,N2為平衡氣
|
|
10
|
氘氮混合氣
|
(D2/N2)
|
|
11
|
氟氬氖混合氣
|
(F2/Ar/Ne)
|
|
12
|
氟氦混合氣
|
(F2/He)
|
|
13
|
氟氪氖混合氣
|
(F2/Kr/Ne)
|
|
14
|
氟氮混合氣
|
(F2/N2)
|
|
15
|
氟氖混合氣
|
(F2/Ne)
|
|
16
|
氯化氫氫氣氖氣混合氣
|
(HCl/H2/Ne)
|
|
17
|
氦氮混合氣
|
(He/N2)
|
|
18
|
氫氬混合氣
|
(H2/Ar)
|
|
19
|
氫氦混合氣
|
(H2/He)
|
|
20
|
氫氮混合氣
|
(H2/N2)
|
|
21
|
氫氖混合氣
|
(H2/Ne)
|
|
22
|
氪氖混合氣
|
(Kr/Ne)
|
|
23
|
三氟化氮氬氣混合氣
|
(NF3/Ar)
|
|
24
|
氨氣氦氣混合氣
|
(NH3/He)
|
|
25
|
二氧化氮氮氣混合氣
|
(NO2/N2)
|
|
26
|
氮氦混合氣
|
(N2/He)
|
|
27
|
氧氦混合氣
|
(O2/He)
|
|
28
|
氧氮混合氣
|
(O2/N2)
|
|
29
|
磷烷氬氣混合氣
|
(PH3/Ar)
|
|
30
|
磷烷氫氣混合氣
|
(PH3/H2)
|
|
31
|
磷烷氦氣混合氣
|
(PH3/He)
|
|
32
|
磷烷氮氣混合氣
|
(PH3/N2)
|
|
33
|
二氧化硫氮氣混合氣
|
(SO2/N2)
|
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34
|
氙氫混合氣
|
(Xe/H2)
|
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35
|
氙氖混合氣
|
(Xe/Ne)
|
*以上產(chǎn)品包含正在建設(shè)電子特氣產(chǎn)品
含氟新材料系列產(chǎn)品
中船派瑞特氣公司含氟新材料系列產(chǎn)品已銷往全球多個國家，贏得行業(yè)知名客戶的認(rèn)可?；陔娊夥に嚕狙邪l(fā)生產(chǎn)了三氟甲磺酸系列產(chǎn)品，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于鋰電池、醫(yī)藥、偏光片等行業(yè)。
|
名稱
|
化學(xué)式
|
CAS號
|
|
三氟甲磺酸
|
CF?SO?H | 1493-13-6 |
|
三氟甲磺酸酐
|
(CF?SO?)?O
|
358-23-6 |
|
三氟甲磺酸三甲基硅酯
|
C?H9F?O?SSi | 27607-77-8 |
| N-苯基（雙三氟甲磺酰）亞胺 |
N-Phenylbis
|
37595-74-7 |
|
雙三氟甲磺酰亞胺鋰
|
LiTFSI | 90076-65-6 |
|
雙三氟甲磺酰亞胺
|
C?HF6NO?S?
|
82113-65-3 |
|
三氟甲磺酸鋰
|
LiCF?SO? | 33454-82-9 |
|
三氟甲磺酸鈉
|
CF3NaO3S | 2926-30-9 |
|
三氟甲磺酸鉀
|
CF3KO3S | 2926-27-4 |
|
雙三氟甲基磺酰亞胺鈉
|
NaTFSI
|
91742-21-1 |
|
三正丁基甲基銨雙（三氟甲基磺酰）亞胺
|
(C?H9)?NCH?
|
405514-94-5 |
|
(CF?SO?)?N
|
高純金屬
高純金屬主要應(yīng)用于離子注入設(shè)備、核工業(yè)、稀土冶煉、藍寶石等行業(yè)。
成熟產(chǎn)品：高純鎢系列
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